10nm以下の線幅で半導体微細加工ができる高分子ブロック共重合体を開発

10nm以下の線幅で半導体微細加工ができる高分子ブロック共重合体を開発 東京工業大学は、東京応化工業との共同研究で、10nm以下の線幅で半導体微細加工ができる高分子ブロック共重合体の開発に成功した。半導体基板に微細な回路パターンを描画する鋳型を作製できる。
  2024/09/09      itmedia.co.jp/monoist

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