EUV露光装置の消費電力を加速器の活用で低減、KEKが研究開発を開始

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EUV露光装置の消費電力を加速器の活用で低減、KEKが研究開発を開始 高エネルギー加速器研究機構(KEK)は5月23日、加速器を活用した半導体露光技術の研究開発プログラムが、科学技術振興機構(JST)が公募した「次世代半導体微細加工プロセス技術」の実施先の一部として採択されたことを発表した。
  2025/05/23      news.mynavi.jp/rss/business/technology

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