ASMLがEUV光源出力を1000Wへ引き上げる技術を開発、スループットを50％向上

ASMLがEUV光源出力を1000Wへ引き上げる技術を開発、スループットを50％向上 ASMLは2月24～26日にかけて米国で開催された国際光工学会(SPIE)主催の半導体関連技術の国際会議「SPIE 2026」にて、EUV露光装置のスループットを50％引き上げることができる光源技術の開発に成功したことを発表した。
  2026/02/27      news.mynavi.jp/rss/business/technology
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