富士フイルム、先端プロセス対応フッ素フリーネガ型ArF液浸レジストを開発

富士フイルム、先端プロセス対応フッ素フリーネガ型ArF液浸レジストを開発 富士フイルムは、先端半導体製造向けにフッ素を含まないネガ型ArF液浸レジストを開発した。環境規制への対応と先端プロセスでの微細加工性能を両立する材料として、AI半導体分野での活用を狙う。
  2026/04/23      news.mynavi.jp/rss/business/technology
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