ウシオ電機、LED光源を搭載した露光装置を発表　水銀ランプ同等照度で高スループットを実現

ウシオ電機、LED光源を搭載した露光装置を発表　水銀ランプ同等照度で高スループットを実現 ウシオ電機は、LED光源を採用したウェハ向け一括投影露光装置の新モデルを発表し、2026年7月より受注を開始する。従来の水銀ランプと同等の照度を実現しつつ、環境規制への対応と生産効率の向上を図る。
  2026/06/04      news.mynavi.jp/rss/business/technology
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