NIMS、安価なシリコン上に縦型GaNデバイスを成膜する新技術を開発

NIMS、安価なシリコン上に縦型GaNデバイスを成膜する新技術を開発 物質材料研究機構(NIMS)は、縦型窒化ガリウム(GaN)デバイスの実現に不可欠な、極めて低抵抗かつ優れた熱安定性を持つGaNエピタキシャル成膜技術の開発に成功したと発表した。
  2026/06/18      news.mynavi.jp/rss/business/technology
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