産業技術総合研究所(産総研)は7月6日、EUV露光装置や放射光施設などで用いられる曲面光学素子の絶対形状を、非接触で2nm精度に測定できる形状測定装置を開発したことを発表した。曲面ミラー上の各位置における局所角度を高精度に測定し、その分布から絶対形状を算出するもので、自己校正型ロータリーエンコーダー(SelfA)を組み込むことで、広い角度範囲と高精度測定を両立した。EUV露光装置をはじめとする先端光学系の製造・開発・評価への応用が期待される。
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産業技術総合研究所(産総研)は7月6日、EUV露光装置や放射光施設などで用いられる曲面光学素子の絶対形状を、非接触で2nm精度に測定できる形状測定装置を開発したことを発表した。曲面ミラー上の各位置における局所角度を高精度に測定し、その分布から絶対形状を算出するもので、自己校正型ロータリーエンコーダー(SelfA)を組み込むことで、広い角度範囲と高精度測定を両立した。EUV露光装置をはじめとする先端光学系の製造・開発・評価への応用が期待される。
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