サムコの半導体製造装置、累計販売台数5000台目となるエッチング装置を東北大へ出荷

サムコの半導体製造装置、累計販売台数5000台目となるエッチング装置を東北大へ出荷 サムコは、プラズマCVD装置やドライエッチング装置などの半導体製造装置の累計販売台数が5000台に達したことを発表した。5000台目となるエッチング装置は東北大学の共用施設「試作コインランドリ」に設置され、半導体・MEMS研究や人材育成に活用される。
  2026/08/25      news.mynavi.jp/rss/business/technology
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