TSMC、Intel、Samsung Electronicsが相次いでASMLとの高NA EUVに関する協業を打ち出した。IntelがIntel 18Aの一部レイヤで量産適用を先行する一方、Samsungは2028年までのDRAM量産、TSMCは2030年からの先端プロセスへの導入を計画。3社は現行の6インチフォトマスクを活用しながら、将来の6×12インチマスクやハイパーNAを見据えた量産基盤の整備を進める。
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