スタンレー電気の米国子会社であるHexaTechは、直径100mmの単結晶窒化アルミニウム(AlN)基板を製品化した。2026年2月に製品化した直径3インチ品から大口径化し、深紫外LEDや深紫外レーザー、高電圧スイッチングデバイス、衛星通信向け高周波部品などの生産性向上とコスト低減につなげる。今後は直径150mm以上を目指す。
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スタンレー電気の米国子会社であるHexaTechは、直径100mmの単結晶窒化アルミニウム(AlN)基板を製品化した。2026年2月に製品化した直径3インチ品から大口径化し、深紫外LEDや深紫外レーザー、高電圧スイッチングデバイス、衛星通信向け高周波部品などの生産性向上とコスト低減につなげる。今後は直径150mm以上を目指す。
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