三菱電機は、GaN基板上にGaNのエピタキシャル層を成膜するGaN on GaN技術を用いて作成した高周波トランジスタについて、SiC基板上にGaNエピ層を成膜して作成した場合との比較を通して、結晶欠陥に起因する周波数分散の影響の原因を解明するとともに、その影響を大幅に抑制できることを実証したと発表した。
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