浜ホト、300mmウェハの全面膜厚を5秒で計測可能な面内膜厚計を発売

浜ホト、300mmウェハの全面膜厚を5秒で計測可能な面内膜厚計を発売 浜松ホトニクス(浜ホト)は12月1日、高感度カメラを用いた独自の波長検出技術を搭載し、最大で直径300mmウェハの全面膜厚を5秒で一括測定することが可能な面内膜厚計を開発したことを発表した。
  2025/12/01      news.mynavi.jp/rss/business/technology
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