リガクが原子1個分以下の精度で測定可能な半導体向け膜厚計測装置を発売、キオクシアが導入を決定

リガクが原子1個分以下の精度で測定可能な半導体向け膜厚計測装置を発売、キオクシアが導入を決定 リガクは12月4日、半導体製造工程においてウェハの膜厚と組成を高速で計測できるX線を活用した膜厚計測装置「XTRAIA(エクストライア)MF-3400」の販売を開始したことを発表した。
  2025/12/04      news.mynavi.jp/rss/business/technology
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