中国の上海拠点企業が国産のArF液浸露光装置の量産を開始したと複数の海外メディアが報じている。それらの報道によれば、製造装置は2026年中にSMIC、Hua Hong Semiconductor、CXMTへ納入される見通しで、生産規模は2026年に約5台、2027年に約20台とされる。ただし、装置メーカー名やスループット、重ね合わせ精度、稼働率、量産ラインでの歩留まりなどは未公表であり、ASML製液浸DUV装置をただちに代替できる段階かどうかは慎重に見る必要がある。
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