Intel FoundryとASMLは、高NA EUV露光技術の量産対応に向けた進捗をSPIE 2026にて発表した。Intel Foundryでは、装置認定や研究開発、Intel 18Aを用いた量産を通じ、高NA EUVで処理したウェハが累計100万枚を突破。現行の6インチマスクによる早期導入を支援するとともに、将来の6×12インチマスクに向けたエコシステム整備を進める。
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