産業技術総合研究所(産総研)発のスタートアップであるエアメンブレンは、次世代半導体露光装置向け「グラフェンEUVペリクル」の量産化に向け、出資、融資、助成金を合わせて総額約8.5億円を調達した。2027年にパイロット生産を開始し、2028年に次世代EUV露光装置向けの量産ラインを立ち上げる計画で、独自のグラフェン連続合成・自動転写技術を量産プロセスへ移行する。
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産業技術総合研究所(産総研)発のスタートアップであるエアメンブレンは、次世代半導体露光装置向け「グラフェンEUVペリクル」の量産化に向け、出資、融資、助成金を合わせて総額約8.5億円を調達した。2027年にパイロット生産を開始し、2028年に次世代EUV露光装置向けの量産ラインを立ち上げる計画で、独自のグラフェン連続合成・自動転写技術を量産プロセスへ移行する。
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