オキサイド、半導体後工程向け高パルスエネルギーDUVレーザを発売

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オキサイド、半導体後工程向け高パルスエネルギーDUVレーザを発売 オキサイドは、前工程における半導体ウェハ欠陥検査用深紫外(DUV)ピコ秒レーザ「QCW Kalama」シリーズに、新たに半導体後工程に向けた高パルスエネルギーモデルをラインナップとして追加したことを発表した。
  2025/12/17      news.mynavi.jp/rss/business/technology
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