LSTC、1nm世代配線の寿命ばらつきを解明　ルテニウム/エアギャップで設計指針

LSTC、1nm世代配線の寿命ばらつきを解明　ルテニウム/エアギャップで設計指針 LSTCは、次世代配線として有力視されるルテニウム/エアギャップ構造について、製造ばらつきが絶縁寿命に与える影響を解明した。1nm世代以降のロジック半導体に向けた信頼性設計の高精度化につながる成果とする。
  2026/06/02      news.mynavi.jp/rss/business/technology
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